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GFS通用技術規范

供電要求

天平

100至240 V交流，50至60 Hz，，最大功率27 W。功耗

LCM

100至240 V交流，，50至60 Hz，，最大功率40 W。功耗

MFC-CB

85 V至264 V交流，50至60 Hz，最大功率36 W。功耗

工作溫度范圍

15到25°C

濕度范圍

5到70% RH（非凝結）

重量

花崗石表面（含支架）

大約320 kg (700 lb)

系統其余部分

大約70 kg (150 lb)

尺寸

花崗石表面（含支架）外圍

150 cm高x 90 cm寬x 60 cm深(58 in. x 36 in. x 24 in.)

LCM

8 cm高x 22.5 cm寬x 20 cm深(3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.)

MFC-CB

8 cm高x 22.5 cm寬x 20 cm深(3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.)

GFS-FS

20 cm高x 41.4 cm寬x 20 cm深(7.9 in. x 16.3 in. x 7.9 in.)

支持的氣體

氮氣(N2)、空氣、氬氣(Ar)、一氧化碳(CO)、氦氣(He)、氧氣(O2)、二氧化碳(CO2)、四氟化碳(CF4)、乙烷(C2H6)、乙烯(C2H4)、三氟甲(CHF3)、六氟乙烷(C2F6)、氫氣(H2)、甲烷(CH4)、一氧化二氮(N2O)、六氟化硫(SF6)、氙氣(Xe)

流量測量范圍

至少：

He、H2

100 sccm到10 slm

所有其他氣體

10 sccm到10 slm

壓力連接件
封殼的出口流量路徑

1/8” Swagelok管裝置或等效裝置，使用1/4” Swagelok管裝置或等效裝置的適配器

參考氣體套筒壓力極限

20 MPa (3000 psi)

CE認證證書

提供，必須指定

型號

描述

GFS2102

動態重力分析質量流量系統