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氫化物氣體檢測分析儀 |
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| 型 號：FP-260 |
| 品 牌：日本理研RIKEN |
| 技術(shù)指標：檢測半導體各種氣體 |
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文山氫化物氣體檢測分析儀-FP-260-日本理研RIKEN
| 詳細介紹 |
工業(yè)半導體凈化室的理想檢測儀
更適于低濃度氣體檢測（ppm級）
抗干擾性強
盒式帶取放簡便
盒帶剩余量顯示 |
| 功能描述 |
| 使用盒式紙帶的光電光度學原理 |
| 盒式紙帶,VHS型快速更換型盒帶 |
| AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在檢測狀態(tài)耗能為35VA，，在紙帶卷動時耗能為60VA) |
| 物理特性 |
| 370mm |
| 275mm |
| 220mm |
| 約12kg |
| 持有證書 |
| CE |
| 其它 |
檢測氣體和范圍
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檢測氣體 |
TLV值 |
檢測范圍 |
解析值 |
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磷 PH4 |
300ppb |
0--900ppb |
5 |
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四氫化硅 SiH4 |
5ppm |
0--15ppm |
0.25 |
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乙硼烷 B2H6 |
100ppb |
0--300ppb |
5 |
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砷烷AsH3 |
50ppb |
0--150ppb |
1 |
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乙硅烷 SiH6 |
5ppm |
0--10ppm |
0.1 |
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硫化氫 HS2 |
10ppm |
0--100ppm |
1 |
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光氣 COCl2 |
100ppb |
0--300ppb |
2 |
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氯氣 Cl2 |
0.5ppm |
0--100ppb |
1 |
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硒化氫 H2Se |
50ppb |
0--300ppb |
2 | |
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