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特點 帶有氣體采樣流量自動控制功能 LCD顯示，，現場狀態一目了然 實現小型、輕量化 可簡單地更換傳感器和采樣氣路 帶有防止傳感器單元錯誤插入的功能 可以設定多樣的維護模式 組合對應熱分解單元與定電位電解式傳感器，，能檢測NF3等 實現了用PDA讀取數據 符合CE規格，，SEMI規格
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